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ews center檢查旋片式真空泵時,應將真空泵隔離后再進行檢查。先隔離閥門到真空泵這段系統(tǒng)各可疑部位,閥門,法蘭,管道焊縫轉彎處并作細致的檢漏工作。通常用真空計法,即用毛筆蘸取酒精,丙酮等有機溶劑逐一涂抹以上可疑部位和真空泵的進氣口接縫等處,同時看真空計或輝光顏色的變化。當發(fā)現真空計抖動或紫色輝光變乳白色時,可判定被涂到的部位漏氣。在漏隙較小時,這種方法就難以察覺了,應采用更靈敏的方法檢漏。如有漏氣處,則可修補下。如果是真空泵本身有問題,則應該把真空泵從真空系統(tǒng)上拆下檢修。
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